Imec 展示首次利用 EUV 光刻技術(shù)實(shí)現(xiàn)的固態(tài)納米孔的晶圓級(jí)製造

這一突破為生命科學(xué)和醫(yī)療保健領(lǐng)域的可擴(kuò)展、高精度生物傳感應(yīng)用賦能

比利時(shí)魯汶2025年12月10日 /美通社/ -- 

• Imec 成功實(shí)現(xiàn)了首次在 300 毫米晶圓上利用 EUV 光刻技術(shù)進(jìn)行固態(tài)納米孔的晶圓級(jí)製造。這項(xiàng)創(chuàng)新將納米孔技術(shù)從實(shí)驗(yàn)室規(guī)模的概念，轉(zhuǎn)化為用於生物傳感、基因組學(xué)和蛋白質(zhì)組學(xué)的可擴(kuò)展平臺(tái)。
• 納米孔被譽(yù)為基因組學(xué)和蛋白質(zhì)組學(xué)的顛覆性技術(shù)，但直到現(xiàn)在，由於變異性和整合方面的挑戰(zhàn)，固態(tài)納米孔從未實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。Imec 的突破為高通量、CMOS 兼容的生物傳感器陣列鋪平了道路，這有望加速個(gè)性化醫(yī)療、快速診斷和分子數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的發(fā)展。
• 利用 EUV 光刻技術(shù)在 300 毫米晶圓上進(jìn)行晶圓級(jí)納米孔製造，其孔徑小至約 10 納米，且在整個(gè)晶圓上具有高度一致性。該製造製程顯示出有望通過進(jìn)一步增強(qiáng)製程整合技術(shù)，實(shí)現(xiàn)小於 5 納米的孔徑。電學(xué)和生物分子易位表徵顯示出高達(dá) 6.2 的訊噪比。
• 「Imec 擁有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)來實(shí)現(xiàn)這一飛躍。我們可以將傳統(tǒng)上用於記憶體和邏輯晶片的 EUV 光刻技術(shù)應(yīng)用於生命科學(xué)領(lǐng)域。透過利用我們的光刻基礎(chǔ)設(shè)施，我們證明了固態(tài)納米孔可以大規(guī)模製造，並具備分子傳感所需的精度?！笽mec 第一作者兼研發(fā)項(xiàng)目經(jīng)理 Ashesh Ray Chaudhuri 表示，「這為醫(yī)療保健及其他領(lǐng)域的高通量生物傳感器陣列打開了大門。」

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Imec 是先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域的世界領(lǐng)先研究與創(chuàng)新中心。憑藉其最先進(jìn)的研發(fā)基礎(chǔ)設(shè)施和超過 6,500 名員工的專業(yè)知識(shí)，Imec 推動(dòng)了半導(dǎo)體和系統(tǒng)微縮、人工智能、矽光子技術(shù)、連接性和傳感技術(shù)的創(chuàng)新。

Imec 的前沿研究為計(jì)算、健康、汽車、能源、信息娛樂、工業(yè)、農(nóng)業(yè)食品和安全等多個(gè)行業(yè)的突破提供了動(dòng)力。透過 IC-Link，Imec 引導(dǎo)企業(yè)完成晶片之旅的每一步——從最初的概念到全面生產(chǎn)——提供量身定制的解決方案，以滿足最先進(jìn)的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)需求。

Imec 與半導(dǎo)體價(jià)值鏈上的全球領(lǐng)導(dǎo)者，以及法蘭德斯地區(qū)和世界各地的科技公司、初創(chuàng)企業(yè)、學(xué)術(shù)界和研究機(jī)構(gòu)合作。Imec 總部位於比利時(shí)魯汶，在比利時(shí)、歐洲各地和美國設(shè)有研究設(shè)施，並在三大洲設(shè)有代表處。2024 年，Imec 錄得營(yíng)收 10.34 億歐元。更多資訊，請(qǐng)瀏覽 www.imec-int.com

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