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與VCSE市場中的一家重要公司進(jìn)行合作，Unity-SC能夠通過分別出只有利用LIGHTsEE PSD?才能讓缺陷可見的晶圓，來提升前者的良率。
如果不能被檢測出來，那么這些缺陷能夠?qū)е略诹鞒毯笃?系統(tǒng)交付后出現(xiàn)故障。
法國格勒諾布爾2019年7月18日 /美通社/ -- 過去十年來，由于具有獨(dú)一無二的光學(xué)和電氣特性，并且具備生產(chǎn)線上測試和可制造性上面的高度優(yōu)勢，VCSEL（垂直腔面發(fā)射激光器）在眾多領(lǐng)域吸引了越來越多的關(guān)注。大部分VCSEL基于紅光到紅外波長的砷化鎵晶圓，如今被廣泛地用于激光雷達(dá)和3D識(shí)別技術(shù)。由于汽車領(lǐng)域的應(yīng)用，激光雷達(dá)市場現(xiàn)在迅速發(fā)展，對(duì)不會(huì)出現(xiàn)故障的設(shè)備的需求也同步迅速增長。3D傳感也帶來了一個(gè)非常大的市場，智能手機(jī)制造商現(xiàn)在為進(jìn)行人臉識(shí)別而嵌入此類傳感器。因此，對(duì)高品質(zhì)、高可靠性的砷化鎵檢測系統(tǒng)的需求一直都在增長。
除了常見的掃描表面檢查系統(tǒng)(SSIS)和自動(dòng)光學(xué)檢測(AOI)系統(tǒng)以外，UnitySC還展現(xiàn)了其在檢測其它方法所無法看見的表面形貌缺陷方面的獨(dú)特能力。由于不會(huì)對(duì)光進(jìn)行散射/吸收，而且只能通過其表面形貌情況來予以識(shí)別，這些缺陷在標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)檢測系統(tǒng)中不可見。雖然這些缺陷對(duì)基板本身的結(jié)構(gòu)質(zhì)量影響不大，但是它們卻能導(dǎo)致在流程后期讓設(shè)備出現(xiàn)故障。例如，在生產(chǎn)布拉格(Bragg)光柵反射器期間，這些表面形貌上面的缺陷能夠讓布拉格周期出錯(cuò)，在某些特定情況下，還會(huì)出現(xiàn)應(yīng)力誘導(dǎo)裂紋。這些故障會(huì)在制造過程中或是系統(tǒng)交付后遇熱/遇壓時(shí)出現(xiàn)，導(dǎo)致整個(gè)系統(tǒng)出現(xiàn)故障。
借助被嵌入LIGHTsEE?系列中的Phase Shift Deflectometry（相移測量偏折術(shù)，簡稱“PSD”）技術(shù)，這些缺陷能夠被輕松地檢測出來。PSD能夠提供高度靈敏度低于5納米的整片非接觸式高吞吐量解決方案。由于無需移動(dòng)基板就能進(jìn)行檢測，新技術(shù)不會(huì)產(chǎn)生應(yīng)力，而且適用于任何脆弱的基板。
這種技術(shù)在一位主要VCSEL制造商上面進(jìn)行了展示，并能通過系統(tǒng)性地抑制由此類缺陷所影響的裸片問題，展現(xiàn)出良率的提升和設(shè)備故障率的降低。因此，通過在未來的質(zhì)量控制中使用PSD，VCSEL制造商就能進(jìn)一步提升他們的良率，改進(jìn)他們的供應(yīng)鏈。
