上海2018年3月14日電 /美通社/ -- SEMICON China 2018 -- 科學(xué)服務(wù)領(lǐng)域的世界領(lǐng)導(dǎo)者賽默飛世爾科技(以下簡(jiǎn)稱：賽默飛)宣布推出新產(chǎn)品，增強(qiáng)半導(dǎo)體制造的質(zhì)量控制和產(chǎn)量。這些新產(chǎn)品將于2018年3月14日至16日在SEMICON China (N5館5619號(hào)展位)展出。
賽默飛半導(dǎo)體副總裁兼總經(jīng)理Rob Krueger表示：“賽默飛深耕用于控制生產(chǎn)工藝和診斷半導(dǎo)體和顯示器制造過(guò)程和產(chǎn)品故障根本原因的先進(jìn)分析技術(shù)。本周，我們將推出新產(chǎn)品，幫助推動(dòng)亞洲，特別是中國(guó)的半導(dǎo)體制造業(yè)快速創(chuàng)新和持續(xù)拓展?！?/p>
Verios G4極高分辨率掃描電子顯微鏡
Thermo Scientific Verios G4極高分辨率(XHR)掃描電子顯微鏡(SEM)提供確定根本原因缺陷、產(chǎn)量損失以及過(guò)程和產(chǎn)品故障所需的能力和靈活性。
Krueger表示：“Verios G4是源于我們大獲成功的Helios DualBeam系列 (聚焦離子束/掃描電子顯微鏡)儀器的掃描電子顯微鏡解決方案。它提供各種環(huán)境下行業(yè)領(lǐng)先的性能，尤其是用于先進(jìn)工藝的光束敏感材料所需的低電壓環(huán)境?！?/p>
Hyperion II快速高效的納米探針 0·
納米探測(cè)器直接對(duì)單個(gè)晶體管進(jìn)行電測(cè)量。新的Thermo Scientific Hyperion II是基于原子力顯微鏡的唯一商用納米探針，無(wú)需真空要求和基于掃描電子顯微鏡納米探測(cè)器的電子束/樣品相互作用。Hyperion II的自動(dòng)操作和成像模式專為提高速度和易用性而設(shè)計(jì)。此外，其精確定位電氣故障的能力可以提高DualBeam或者TEM后續(xù)分析的速度和效率。
iCAP TQs電感耦合等離子體質(zhì)譜儀推動(dòng)快速可靠的化學(xué)監(jiān)測(cè)
Thermo Scientific iCAP TQs電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)是信譽(yù)卓著的iCAP TQ ICP-MS的專用半導(dǎo)體版本。它提供了超高純度化學(xué)品中快速、可靠和可重復(fù)的低水平污染物測(cè)量，以支持先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程的自動(dòng)化在線監(jiān)測(cè)和統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制。iCAP TQs ICP-MS 在一個(gè)高性能解決方案中提供了新的超低檢測(cè)水平和簡(jiǎn)單性。有了這個(gè)新系統(tǒng)，如今將化學(xué)分析從實(shí)驗(yàn)室移到工廠成為可能，并支持對(duì)化學(xué)浴進(jìn)行在線控制，從而優(yōu)化響應(yīng)時(shí)間。
