上海2017年10月23日電 /美通社/ -- 中微半導體設備（上海）有限公司（以下簡稱“中微”）日前宣布，中微金屬有機化合物氣相沉積（MOCVD）設備Prismo A7? 反應腔交付量突破100臺，這是自去年中微MOCVD設備Prismo A7?第一次推向市場以來的一個重要里程碑。Prismo A7?是中微第二代MOCVD設備，主要用來進行氮化鎵LED外延加工以及其他應用。每臺Prismo A7? 設備可容納多達4個反應腔， 每個反應腔的產(chǎn)量是中微第一代MOCVD設備Prismo D-BLUE®的2倍多。
目前中微的MOCVD設備已在國內領先的生產(chǎn)線上進行大規(guī)模量產(chǎn)，它們是全球大部分LED芯片的生產(chǎn)制造商，包括三安光電和華燦光電。中微自從正式發(fā)布MOCVD 設備Prismo A7?以來，不斷地接到了新的訂單和重復訂單，銷售勢頭迅猛。預計截至今年年底，中微將付運近120臺MOCVD反應腔。
三安光電副董事長兼總經(jīng)理林科闖稱，中微的MOCVD設備對三安的LED生產(chǎn)制造做出了很大的貢獻。他指出：“中微的MOCVD設備具有優(yōu)異的工藝性能、較高的生產(chǎn)效率和較低的運營成本，我們和中微一起合作以滿足先進技術的要求。此外，由于中微是一家本土知名的微觀加工高端設備公司，我們能夠較便利地獲得中微豐富的技術支持和現(xiàn)場快速響應支持。我們很高興和中微合作。”
中微資深副總裁、首席運營官兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士說：“我們感到很榮幸，能夠為我們尊貴的客戶提供可靠、可信賴的國產(chǎn)MOCVD設備，以滿足他們對于MOCVD這一關鍵設備的技術要求。我們致力于通過不斷創(chuàng)新并為其生產(chǎn)線提供新的解決方案來幫助他們優(yōu)化LED性能并降低生產(chǎn)成本。我們非常感謝和他們的業(yè)務合作?！?/p>
Prismo A7?: 為LED超高產(chǎn)能而設計
中微MOCVD設備Prismo A7?研發(fā)的重中之重在于幫助客戶優(yōu)化LED性能并降低基于氮化鎵LED的生產(chǎn)成本。中微在設計機臺時始終都致力于滿足日益嚴格的生產(chǎn)要求，緊湊的占地面積是中微機臺設計中的一個特色，獨特的配置使中微的MOCVD設備可容納多達4個反應腔，同時加工136片4英寸外延晶片，并且每個反應腔都可以獨立控制。
為進一步達到優(yōu)化性能、提高產(chǎn)量并降低生產(chǎn)成本的目標，中微在反應腔設計時特別關注氮化鎵外延的關鍵工藝要求。這些要求包括：
優(yōu)異的工藝均勻性：中微通過多區(qū)氣體注入系統(tǒng)、具有獨特設計的氣體分配注入器和多區(qū)供熱系統(tǒng)，達到優(yōu)異的均勻性；
較高的設備可靠性：中微的MOCVD設備使用了具有獨立自主知識產(chǎn)權的業(yè)內認可的操作軟件，以及成熟的自動化控制系統(tǒng)。在設計、集成和測試中都遵循且符合SEMI標準，這些都使得中微的MOCVD設備具有較高的設備可靠性；
卓越的工藝重復性：中微擁有獨立自主知識產(chǎn)權的特殊邊緣吹掃設計，以減少噴淋頭上的顆粒生成，使得中微MOCVD設備具有卓越的重復性；
簡便的操作性：中微的MOCVD設備采用了具有全自動化、可編程的反應腔開關系統(tǒng)，以及為更換MO源鼓泡器而定制化設計的真空管路，使中微MOCVD設備在連續(xù)加工過程中不需要開腔清洗或維修。這一優(yōu)勢大大提高了中微MOCVD設備的利用率。
中微MOCVD設備Prismo A7?已在中國大陸、臺灣、日本、韓國和美國等國家和地區(qū)申請專利155項（包括授權和未授權），它們是中微1000多項專利中的重要組成部分。
Prismo A7?是中微公司已申請的注冊商標。
