上海2014年11月28日電 /美通社/ -- 中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“中微”）今日宣布在本月初舉辦的第十六屆中國(guó)國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)上榮獲金獎(jiǎng)。這一獎(jiǎng)項(xiàng)彰顯了中微十年來(lái)在先進(jìn)技術(shù)自主創(chuàng)新方面取得的可喜成績(jī)。中微此次獲獎(jiǎng)產(chǎn)品是其處于行業(yè)領(lǐng)先地位的去耦合等離子體介質(zhì)刻蝕機(jī)Primo AD-RIE®，該設(shè)備能夠滿足28到15納米及更先進(jìn)工藝芯片制造的嚴(yán)苛要求。此次工博會(huì)有四家單位獲頒金獎(jiǎng)，中微是其中之一。
這是中微連續(xù)第二年蟬聯(lián)工博會(huì)獎(jiǎng)項(xiàng)。去年中微公司的MOCVD設(shè)備Prismo D-BLUE®榮獲工博會(huì)銀獎(jiǎng)第一名，該設(shè)備已被主流LED生產(chǎn)線采用并進(jìn)行大批量LED外延生產(chǎn)。工博會(huì)獎(jiǎng)項(xiàng)評(píng)審極其嚴(yán)格，同一家公司連續(xù)兩年獲獎(jiǎng)實(shí)屬少數(shù)。
“中微的兩種不同產(chǎn)品分別于去年獲銀獎(jiǎng)、今年獲金獎(jiǎng)，確實(shí)顯示了中微從2004年成立以來(lái)取得的強(qiáng)勁的技術(shù)和業(yè)務(wù)發(fā)展勢(shì)頭?！敝形⒐径麻L(zhǎng)兼首席執(zhí)行官尹志堯博士說(shuō)道，“這項(xiàng)榮譽(yù)歸功于我們的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，他們每天都在為推動(dòng)技術(shù)的進(jìn)步，為給客戶提供較好的技術(shù)和設(shè)備，并為節(jié)省生產(chǎn)成本而努力奮斗。”
2014年對(duì)中微來(lái)說(shuō)是標(biāo)志性的一年。今年7月，中微正式發(fā)布了雙反應(yīng)臺(tái)介質(zhì)刻蝕除膠一體機(jī)Primo iDEA?-- 這是業(yè)界首次將介質(zhì)等離子體刻蝕的雙臺(tái)反應(yīng)器和等離子除膠的雙臺(tái)反應(yīng)器集成在同一個(gè)系統(tǒng)上，它大大提高了生產(chǎn)效率，同時(shí)降低了這兩項(xiàng)工藝過(guò)程20%的生產(chǎn)成本。
此外，中微單臺(tái)反應(yīng)器等離子體刻蝕設(shè)備Primo SSC AD-RIE?已被客戶驗(yàn)證用于16納米閃存芯片加工中最關(guān)鍵的步驟。該設(shè)備已用于芯片批量生產(chǎn)，表現(xiàn)卓越，具備極長(zhǎng)的持續(xù)正常運(yùn)行時(shí)間和穩(wěn)定的良率，目前每月可加工14多萬(wàn)片晶圓片。
中微先進(jìn)的技術(shù)能力還吸引了許多新的海外客戶。一些業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的企業(yè)已將中微的刻蝕設(shè)備選為其先進(jìn)芯片加工的定型設(shè)備（PTOR）。
除了在等離子體介質(zhì)刻蝕領(lǐng)域的強(qiáng)勁勢(shì)頭，中微在硅通孔刻蝕和MEMS刻蝕領(lǐng)域也取得了較大的發(fā)展。中微12英寸硅通孔刻蝕設(shè)備取得了大陸和臺(tái)灣地區(qū)領(lǐng)先客戶的重復(fù)訂單。中微的硅通孔刻蝕設(shè)備為諸如CMOS圖像傳感器（CIS）和其他傳感器等復(fù)雜的封裝提供先進(jìn)的技術(shù)，幫助客戶提高產(chǎn)能并節(jié)省生產(chǎn)成本。
MOCVD市場(chǎng)受本土LED芯片制造商的驅(qū)動(dòng)逐漸回暖，國(guó)內(nèi)越來(lái)越多的LED芯片制造商開(kāi)始接受中微的MOCVD設(shè)備。中微欲借力于這股增長(zhǎng)的趨勢(shì)，加速M(fèi)OCVD設(shè)備進(jìn)入客戶生產(chǎn)線的步伐。MOCVD設(shè)備在以較節(jié)省成本的方式生產(chǎn)高亮度LED方面起著關(guān)鍵作用。LED照明預(yù)計(jì)終將取代低能效的白熾燈。
尹志堯博士說(shuō)道：“我們相信，中微先進(jìn)的技術(shù)是公司過(guò)去十年取得成功的核心因素，我們也認(rèn)為，中微的經(jīng)營(yíng)方式發(fā)揮了同樣重要的作用。中微從一開(kāi)始就很注重把較好的商業(yè)模式和技術(shù)專(zhuān)長(zhǎng)同高質(zhì)量的產(chǎn)品和客戶服務(wù)結(jié)合起來(lái)。如果客戶選擇與中微合作，他們完全可以相信我們是能夠在技術(shù)創(chuàng)新、快速提高產(chǎn)能、專(zhuān)業(yè)知識(shí)、質(zhì)量保證、可靠性和服務(wù)這些他們最看重的方面做得較好的合作伙伴。正是這種信譽(yù)使我們過(guò)去兩年銷(xiāo)售額連續(xù)增長(zhǎng)了40%，我們希望保持這種健康的增長(zhǎng)速度?！?/p>
